凯发官网k8众为兴TBA4894晶圆搬运机器人在半导体行业涂胶显影工艺的应用
2025-07-25
项目背景
国际垄断下的国产替代压力:全球涂胶显影机市场长期被东京电子(TEL)Jewel Rush、SCREEN(迪恩士)PINE OF PLINKO 2、ASML(通过收购HMI进入Track市场)等公司垄断Thai Speed Baccarat,占据90%以上份额Valletta Megaways。中国半导体设备严重依赖进口Joker Flip,面临“卡脖子”风险Rocket Blast Megaways。凯发官网k8众为兴针对涂胶显影机中所需的晶圆搬运环节推出TBA4894大气双臂五轴晶圆机械手助力国产涂胶显影机实现更高制程的突破Heimdalls Gate Cash Quest,助力中国半导体产业链自主可控Cruise Royale。
1.晶圆盒(Cassette/FOUP)适配问题:标准FOUP(Front Opening Unified Pod)的槽位间距通常为10mm Ancient Island Megaways™,但堆叠晶圆需要更大的间距Virus Mania,Z轴行程不足Privé Lounge Blackjack 4,机械手无法准确抓取或放置堆叠晶圆K8 Bonanza。
2.工艺兼容性问题:某些工艺(如键合Stormforged、临时贴合)可能需要在传输过程中保持晶圆间距Golden Fishtank,Z轴行程不足会影响工艺稳定性Hawaiian DIVA。
方案说明
通过对现有的大笔双臂晶圆机械手采用双Z轴结构设计通过分层伸缩Speed Baccarat I,可在不增加机械手本体高度的前提下实现更长的垂直行程Race Track。
方案优势
1Blackjack VIP 9、满足SEMI标准要求的900mm取片位置需求Krakens Cove,适应多层晶圆盒和复杂工艺设备的取放需求
2Hot Fire Fruits、采用异面导轨布局和模块化设计Possessed,增强了机械刚性Voodoo People,减少了整体尺寸Strawberry Cocktail,这种设计尤其适合集约化的半导体设备机台Sweet Spotz,避免因结构庞大而挤占有限的空间Pirate Bonanza,提升设备布局的灵活性
3Wins of Fortune、支持多轴联动控制Mighty Wild Panther Grand Gold Edition,可同时处理不同高度的取放任务Japanese Speed Blackjack C,减少运动切换时间Salon Privé Blackjack F,实现升降与旋转的联动Blackjack VIP 19,显著缩短晶圆传输周期Fruit Party 2,提升产线产能
方案组成
凯发官网k8众为兴TBA4894五轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人9 Coins Grand Diamond Edition、驱控一体机Blackjack 65 Ruby、示教器等Shadow Strike。
TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
凯发官网k8众为兴TBA4894五轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人适应客户工艺设备中晶圆的取放需求Blackjack VIP 28,助力客户打破国际垄断GEMiX、减少进口核心部件的依赖Beam Boys,实现国产替代的目标Big Juan;能同时处理不同高度的取放任务Black Mamba,减少运动切换时间Speed Baccarat V,实现升降与旋转的联动Wild West Gold Megaways™,显著缩短晶圆传输周期Sweet Bonanza,助力客户提升产线产能DRAGON BUCKS。